System nanotechnologiczny

Kontrolowane i powtarzalne osadzanie warstw techniką rozpylania magnetronowego oraz niskotemperaturowego (materiały organiczne) i wysokotemperaturowego naparowania termicznego. Obrazowanie powierzchni nanoelementów, nanolitografia, nanomanipulacja.

Główne urządzenia linii technologicznej determinujące jakość wytwarzania i parametryzacji nano-struktur:

• mikroskop sił atomowych SPM NT-MDT NTEGRA Prima;

• napylarka próżniowa PVD PREVAC;

• piec kwarcowy ATV PEO 603.

Tryby pomiarowe AFM: kontaktowy, półkontaktowy, bezkontaktowy, przewodnictwo elektryczne, mikroskopia pojemnościowa, rozkład ładunku elektrycznego, rozkład pola magnetycznego, rozkład potencjału powierzchniowego, pomiar temperatury, przewodnictwa temperaturowego, sił tarcia, obrazowanie fazowe, STM, SNOM odbiciowy.