Wysokorozdzielczy dyfraktometr rentgenowski HRXRD Empyrean firmy PANalytical

1.   Możliwości pomiarowe:

Wysokorozdzielczy dyfraktometr rentgenowski HRXRD Empyrean firmy PANalytical jest przeznaczony do charakteryzacji strukturalnej struktur półprzewodnikowych. Jest szeroko stosowany do określania właściwości materiałów,  m.in. do analizy jakości oraz grubości cienkich warstw.

2.  Wyposażenie dyfraktometru

Dyfraktometr rentgenowski wyposażony jest w cztero-odbiciowy monochromator hybrydowy Ge (440) oraz goniometr pionowy o promieniu 240 mm w geometrii Theta - Theta, o wysokiej rozdzielczości kątowej (0.0001°). Dodatkowo urządzenie posiada sterowany komputerowo stolik (koło Eulera) z przesuwem: Z, Chi, Phi oraz optykę wysokiej rozdzielczości wiązki ugiętej (Triple axis oraz Rocking Curve), jak również programowalny pochłaniacz wiązki pierwotnej (Beam attenuator). Dyfraktometr jest wyposażony w oprogramowanie AMASS umożliwiające analizę wyników eksperymentalnych zaawansowanych materiałów półprzewodnikowych  oraz cienkich warstw.