Skaningowy mikroskop elektronowy Tescan VEGA 3 pozwala badać topografię
próbki na podstawie detekcji elektronów wtórnych (SE). Mikroskop pozwala
oglądać próbkę w szerokim zakresie trybów, jak
Wide Field Optics™ zwiększający kąt widzenia, tryb poszerzonej głębi
ostrości oraz tryb wysokiej rozdzielczości. Mikroskop przeznaczony jest do
badania materiałów suchych w warunkach wysokiej próżni. Ruchomy uchwyt w
zakresie 5 osi (X-Y-Z, oś obrotu i przechyłu) umożliwia obserwację pod dowolnym
kątem. Zakres napięć przyspieszających zawiera się między 200V a 30kV. Dzięki
specjalnemu oprogramowaniu możliwe jest również wykonywanie zdjęć w
stereoskopowym trybie 3D.
Podstawowe parametry techniczne mikroskopu Tescan VEGA 3:
- maksymalna rozdzielczość 3nm przy 30kV
- wartość robocza próżni 9x10-3 Pa
- Wolframowe działo elektronowe
- wartość powiększenia 1x-1000000x
- maksymalna wielkość obrazu 8192 x 8192px
- maksymalna wielkość próbki X=110mm Y=110mm Z= 35mm