Najważniejsze cechy maszyny współrzędnościowej O-INSPECT 863 firmy ZEISS:
maszyna portalowa z ruchomym stołem
liniały optyczne o rozdzielczości 0,2 µm
zintegrowany pasywny system tłumienia drgań
powiększenie 12x optyczne, telecentryczne
pierścień oświetleniowy 8 segmentów,
podświetlenie LED w dwóch kolorach: światło czerwone i światło niebieskie
zintegrowany system światła przechodzącego,
światło koncentryczne czerwone i niebieskie
głowica stykowa VAST XXL TL3, 18-pinowa z
zestawem trzpieni
zetknięcia samocentrujące
oprogramowanie CALYPSO